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入門真空・薄膜・スパッタリング 入門真空・薄膜・スパッタリング
著者：Ｒ・Ｖ・ステュア-ト  / 毛利衛
出版社：技報堂出版 ( 1985年10月 )
価格：2,200円
ISBN13：9784765503587
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