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超精密加工と表面科学
著者:
大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点/精密工学会超精密加工専門委員会
出版社:大阪大学出版会 ( 2014年03月22日頃 )
価格:
3,300円
ISBN13:9784872594652
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