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著者：菊地正典
出版社：日本実業出版社
出版日：2007年04月
ISBN10：4534042175
ISBN13：9784534042170
販売価格：2,090円
「産業のコメ、原油」とも呼ばれる半導体。その半導体をつくるための装置が半導体製造装置。拡散工程から特性検査工程までの各工程で使用される装置の構造、操作原理、技術のすべてがこの一冊でわかります。
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