弾性表面波・圧電振動型センサ

超音波を利用したデバイスは，スマホやデジタルカメラなど身の回りで広く利用されているが，目に触れることはない。本書では，伝搬媒質表面近傍の振動を利用した弾性表面波センサ，固体振動を利用した圧電振動型センサを取り扱う。 ★主要目次★ 第I部　弾性表面波センサ 1.　弾性波センサ 　1.1　弾性波デバイス 　1.2　弾性波を用いた化学センサ，バイオセンサ 　1.3　弾性波を用いた物理センサ 2.　弾性表面波センサおよび測定法 　2.1　弾性表面波デバイス 　2.2　代表的な測定システム 　2.3　測定原理 　2.4　共振子タイプと遅延線タイプ 　2.5　検出限界 3.　弾性表面波センサの解析法 　3.1　数値解析法 　3.2　摂動法の基礎 　3.3　速度変化および波数で規格化した減衰変化 4.　機械的摂動 　4.1　空気中での質量負荷効果 　4.2　ニュートン流体に対する機械的摂動 　4.3　液体中での質量負荷効果 　4.4　液体の密度と粘度分離測定 　4.5　粘弾性流体 5.　電気的摂動 　5.1　伝搬面上が空気の場合の電気的摂動 　5.2　伝搬面上が液体の場合の電気的摂動 　5.3　比誘電率ー導電率図表 　5.4　比誘電率ー導電率図表を用いた液体評価 　5.5　導電率と誘電率を用いた水評価 　5.6　基準液体の導電率が無視できない場合 6.　弾性表面波センサを用いた応用測定 　6.1　ガスセンサ 　6.2　バイオセンサ 　6.3　多変量解析を用いた液体識別 　6.4　ニューラルネットワークを用いた電解質水溶液識別 　6.5　センサ応答の推定 　6.6　層状構造を用いた弾性波センサの高感度化 　6.7　ワイヤレスSAWセンサ 第II部　圧電振動型センサ 7.　圧電振動型センサ 　7.1　弾性波機能デバイスの特徴 　7.2　圧電デバイスの解析手法 8.　固体の振動 　8.1　固体の弾性 　8.2　圧電振動と等価回路 　8.3　圧電振動子の等価回路 9.　振動子 　9.1　縦振動子およびねじり振動子 　9.2　横振動子 10.　マトリクス法と有限要素法 　10.1　振動体のマトリクス表示と特性解析 　10.2　有限要素法 11.　振動型力センサ 　11.1　弦の振動 　11.2　複合音さ型振動子を用いた力センサ 　11.3　各種構造の横振動子を用いた力センサ 12.　振動ジャイロ・角速度センサ 　12.1　原理と構成 　12.2　等価回路 　12.3　感度特性 　12.4　応答特性 　12.5　漏れ出力特性 13.　触覚センサ 　13.1　接触インピーダンス法による触覚センサの原理 　13.2　触覚センサの周波数変化率 　13.3　振動子の質量と触覚センサの周波数変化率との関係 　13.4　触覚センサの高感度化の検討