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最新レジスト材料ハンドブック
著者：
角岡正弘
/
上野巧
/
河合晃
出版社：情報機構 ( 2005年09月30日頃 )
価格：
75,900円
ISBN13：9784901677455
半導体・液晶ディスプレイフォトリソグラフィ技術ハンドブック
著者：
石橋健夫
/
上野巧
出版社：鍬谷書店 ( 2006年01月31日頃 )
価格：
77,000円
ISBN13：9784898080696
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