| EUV時代の半導体リソグラフィ技術
著者：岡崎信次 / 鈴木章義 / 上野巧 出版社：技術評論社 ( 2026年04月30日頃 ) 価格：3,520円 ISBN13：9784297154622 | |
| 最新レジスト材料ハンドブック
著者：角岡正弘 / 上野巧 / 河合晃 出版社：情報機構 ( 2005年09月30日頃 ) 価格：75,900円 ISBN13：9784901677455 | |
| 半導体・液晶ディスプレイフォトリソグラフィ技術ハンドブック
著者：石橋健夫 / 上野巧 出版社：リアライズ理工センター ( 2006年01月 ) 価格：77,000円 ISBN13：9784898080696 |