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出版社：東北大学出版会
出版日：2018年06月05日頃
ISBN10：486163296X
ISBN13：9784861632969
販売価格：3,300円
並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。
第1章 マスクレス露光と電子ビーム描画・転写
第2章 並列電子ビーム描画の課題
第3章 並列電子ビーム描画装置用電子源
第4章 超並列電子ビーム描画（MPEBW)
第5章 応用と今後の課題
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