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出版社：産業図書
出版日：2004年03月30日頃
ISBN10：4782855508
ISBN13：9784782855508
販売価格：7,260円
本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。
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