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分光エリプソメトリー第2版

著者:藤原裕之
出版社:丸善出版
出版日:2011年05月
ISBN10:4621083228
ISBN13:9784621083222
販売価格:6,380円
「第2版」では最新の動向を踏まえ、特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。
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