薄膜工学

薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。いわゆる情報化社会を可能にしている技術をハード面で支えているのが、薄膜技術である。本書は、その基本事項を解説するとともに、最新技術の紹介も行い、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説する教科書である。