はじめての研磨加工

日本が世界に誇る「先端技術」を支えるのは，高度な精密加工技術であり，その精密加工技術の最終工程として不可欠なのが「研磨加工」である。研磨加工技術は最先端技術分野における基幹技術としてますます重要となってきている。本書は研磨加工の基礎知識や加工のメカニズムなどをわかりやすく解説し，最新の加工技術やこれからの技術についても書かれているので，系統的に知識を習得することができる。 第1章　研磨加工とは 　1.1　精密工学・工業における研磨加工の意義と効用 　1.2　精密加工における研磨加工の位置づけ 　1.3　「研削加工」と「研磨加工」の違い 　1.4　研磨加工の歴史的発展経緯 第2章　研磨加工の基礎 　2.1　研磨加工の種類 　2.2　研磨加工に用いられる砥粒 　2.3　研磨加工に用いられる工具 　2.4　研磨装置 第3章　粗研磨加工 　3.1　ラッピング加工 　3.2　超仕上加工 　3.3　ホーニング加工 　3.4　研磨布紙加工 第4章　ポリシング加工の基礎 　4.1　ポリシングの基本メカニズム 　4.2　ポリシング加工方式の分類と概要 　4.3　金属材料のポリシング事例 　4.4　非金属材料のポリシング事例 第5章　最近の超精密ポリシング 　5.1　超精密ポリシングの特徴とニーズ 　5.2　メカニカルポリシング（Mechanical Polishing） 　5.3　ケミカル・メカニカルポリシング（Chemical and Mechanical Polishing：CMP） 　5.4　ケモメカニカルポリシング（Chemo-mechanical Polishing） 　5.5　メカノケミカルポリシング（Mechanochemical Polishing） 　5.6　EEM（Elastic Emission Machining） 　5.7　ケミカルポリシング 　5.8　ポリシングにおける化学反応の特異性 　5.9　デバイスウエハの平坦化CMP 第6章　これからの研磨加工 　6.1　遊離砥粒研磨法の新たな方式 　6.2　次世代技術としての固定砥粒研磨法 　6.3　砥粒レス研磨法の新たな可能性