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著者：傳田精一
出版社：共立出版
出版日：1984年01月01日頃
ISBN10：4320084519
ISBN13：9784320084513
販売価格：2,200円
IC、LSI、超LSIの構造や動作原理をはじめ、その最新技術を一般の人にもわかるように平易に解説。
1．ICはなぜ動く
2．ICはなぜ小さいのか
3．シリコン単結晶
4．表面のはたらき
5．不純物拡散
6．エピタキシャル成長
7．CVD技術
8．フォトエッチングの驚異
9．ミクロへの挑戦
10．マスクアイライナー
11．フォトマスク
12．フォトレジスト
13．電子ビーム露光
14．イオン注入技術
15．ドライエッチング
16．クリーンルームと純水
17．ワイヤボンデング
18．パッケージ
19．ICの弱点
20．ICの信頼性
21．メモリ
22．ハイブリッドIC
23．ICのはたらき
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