エピタキシャル成長のメカニズム

本書ではエピタキシャル成長の熱力学、結晶成長のカイネティクス、基板の表面状態とエピタキシャル成長、ヘテロエピタキシャル成長といった、最も基本となる重要なテーマを取り上げて解説する。本文中に出てくる式に対しても、その導出を行いその意味するところを理解できるように述べた。また、専門用語に対してもできるだけ説明を加え、本書のみで読者が理解し、独力で読み進めることが出来るように工夫している。 1．基本概念 1.1　はじめに 1.2　エピタキシャル成長の基礎 1.3　結晶成長に影響を与える因子 1.4　成長モード 2．エピタキシャル成長の熱力学 2.1　固液平衡からの成長 （LPE ） 2.2　固気平衡からの成長 3．結晶成長のカイネティクス 3.1　成長表面のカイネティクス 3.2　溶液成長における溶質元素の拡散 3.3　気相成長の物質輸送効果 4．基板の表面状態とエピタキシャル成長 4.1　面方位とエピタキシャル成長 4.2　微傾斜面とエピタキシー 4.3　サーファクタントを利用した成長 5．ヘテロエピタキシャル成長 5.1　ヘテロエピタキシャル成長と格子整合 5.2　ヘテロ構造の応力・歪み